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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-164
分類 成膜・膜堆積 > MBE(分子線エピタキシー)
設備名 分子線エピタキシー装置
(Molecular Beam Epitaxy System)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

エイコーエンジニアリング社製
kセル8系統:Ga,As,In,Al,Si,Be
対応基板サイズ:最大2インチ
RHEED付

F-NU-164

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