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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-158
分類 成膜・膜堆積 > スパッタリング
設備名 3元マグネトロンスパッタ装置
(3-sources Magnetron Sputtering System)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

島津製作所HSR-522
4インチカソード3本,RF電源500 W 2台
逆スパッタ機構,基盤回転,シャッター開閉機構による多層膜成長可能

F-NU-158

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