文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-157
分類 膜加工・エッチング > ドライエッチング(ECR)
形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
質量分析 > SIMS
設備名 ECR-SIMSエッチング装置
(Electron Cycrotron Resonance Plasma Etching System with Secondary Ion Mass Spectroscope)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

ECRイオンガン:入江工研社製 RGB-114  
マイクロ波入力150 W,加速電圧600 V,イオン照射径30mm

SIMS検出器:PFEIFFER社製 EDP400
分析質量1-512 amu                      F0302/F0704
試料角度調整,回転機構付き

F-NU-157

この設備に関するお問い合わせ先

本研究設備の詳細や利用方法等は、問い合わせフォームよりお問い合わせください。

設置機関Webサイト 設置機関Webサイト   この設備について問い合わせる この設備について問い合わせる(設置機関への問い合わせフォーム)