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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-154
分類 形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
走査型プローブ顕微鏡 > 原子間力顕微鏡
設備名 原子間力顕微鏡
(Atomic Force Microscope)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

Bruker社製 AXS  Dimension3100

  • スキャン領域:XY方向  約90μm,Z方向  約6μm
  • 試料サイズ:最大150 mmφ-12 mmt
  • 測定モード  AFM,MFM,EFM,LFM,表面電位顕微鏡,電流像,リソグラフィー
F-NU-154

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