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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-153
分類 表面分析装置 > X線回折(XRD)
X 線回折 > 粉末・薄膜 X 線回折(XRD)
設備名 薄膜X線回折装置
(X-ray Diffractometer)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

RIGAKU社製  ATX-G
Cu Kα線 18kW  多層膜ミラー,Geモノクロメーター付き
測定モード:
  θ-2θスキャン
  ロッキングカーブ
  逆格子面マッピング
  膜面内φスキャン
  φ-2θχスキャンなど

F-NU-153

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