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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-152
分類 合成、熱処理、ドーピング > 熱処理、レーザーアニール
設備名 急速加熱処理装置
(Rapid Thermal Annealing System)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

AG Associates社製  Heatpulse 610
温度範囲:400~1200℃
昇温速度:200℃/sec

F-NU-152

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