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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-148
分類 合成、熱処理、ドーピング > 酸化、拡散、イオン注入
設備名 イオン注入装置
(Ion Implantation System)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

日新電機社製  NH-20SR-WMH
加速電圧:5-200kV
注入電流1 µA~100 µA

F-NU-148

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