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研究機関:名古屋大学
名称:名古屋大学 工学研究科 微細加工プラットフォーム

半導体,磁性体,誘電体,セラミックス系,有機系材料など広範囲の薄膜材料形成から,リソグラフィー技術,プラズマエッチング技術を利用したナノ材料,ナノ構造形成,ナノデバイス作製などに関してさまざまな支援を行います.

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