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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-095
分類 膜加工・エッチング > 集束イオンビーム加工
設備名 FIB-SEMダブルビーム装置
(FIB-SEM)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

(SIIナノテクノロジー社製:XVision200DB)
FIB/SEM加速電圧:1~30kV
カーボンデポジションシステム
マイクロプロービングシステム
最大試料寸法:φ8インチ

F-NM-095

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