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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-093
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 極低温プローバーシステム
(Cryogenic Prober)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

(ナガセテクノエンジニアリング社製:GRAIL10-308-6-4K-LV-SCM,ケースレーインスツルメンツ:4200-SCS)
測定温度:5K~室温
I-V測定/C-V測定
最大試料寸法:20mm角

F-NM-093

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