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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-092
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 室温プローバーシステム
(Room Temp. Prober)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

(ベクターセミコン社製:MX-200
アジレント社製:B1500A搭載)
I-V測定/C-V測定
最大試料寸法:φ4インチ

F-NM-092

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