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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-090
分類 切削、研磨、接合 > ダイシング、スクライバ
設備名 自動スクライバー
(Auto Scriber)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

(ダイトロンテクノロジー社製:DPS-301R)
ダイヤモンドポイントスクライブ方式
化合物半導体/各種シリコン基板
最大試料寸法:φ4インチ

F-NM-090

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