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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-088
分類 形状・形態観察、分析 > 光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)
設備名 3次元測定レーザー顕微鏡
(3D Laser Microscope)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

(オリンパス社製:LEXT OLS4000)
光源:405nm半導体レーザー
分解能:XY:0.12μm, Z:0.01μm
最大試料寸法:100mm角

F-NM-088

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