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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-087
分類 形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
設備名 原子間力顕微鏡
(AFM)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

(SIIナノテクノロジー社製:L-trace II)
分解能:垂直0.01nm/水平0.5nm
測定モード:AFM, DFM, FFM, SIS
最大試料寸法:φ6インチ

F-NM-087

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