文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-085
分類 合成、熱処理、ドーピング > 酸化、拡散、イオン注入
設備名 シリコン酸化・熱処理炉
(Oxide Furnace)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

(光洋サーモシステム社製MT-2-6X20-A)
細線ヒーター加熱方法
O2ドライ酸化,バブリングウェット酸化
O2,N2アニール
最大試料寸法:φ2インチ

F-NM-085

この設備に関するお問い合わせ先

本研究設備の詳細や利用方法等は、問い合わせフォームよりお問い合わせください。

設置機関Webサイト 設置機関Webサイト   この設備について問い合わせる この設備について問い合わせる(設置機関への問い合わせフォーム)