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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-084
分類 合成、熱処理、ドーピング > 熱処理、レーザーアニール
設備名 急速赤外線アニール炉
(RTA System)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

(アルバック理工社製QHC-P410)
赤外線ランプ加熱方式
最高到達温度:1350度
最大試料寸法:20mm×4枚

F-NM-084

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