文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-076
分類 成膜・膜堆積 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
設備名 12連電子銃型蒸着装置
(E-gun Evaporator)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

 (アールデック社製:RDEB-1206K)
12連式ハースライナー搭載
到達真空度:1e-5Pa以下
最大試料寸法:φ6インチ

F-NM-076

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