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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NM-069
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > 電子線描画(EB)
設備名 100kV電子ビーム描画装置
(100kV-EB Writer)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

(エリオニクス社製:ELS-7000)
最大加速電圧:100kV
最小ビーム径:1.8nm
最大試料寸法:φ6インチ

F-NM-069

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