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研究機関:物質・材料研究機構
名称:NIMS微細加工プラットフォーム

多種多様な材料に適応可能な微細加工装置群および観察・計測装置群,電気特性評価装置群を合計40台(付帯装置含む)ほど完備し,ナノスケールからミリスケールにわたる3次元加工・素子作製を主として支援を実施する.

該当する大分類件数:7件