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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-298
分類 成膜・膜堆積 > CVD(化学気相成長)、有機膜
設備名 パリレン成膜装置
(Parylene Coater)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

SCS社製 LABCOTER PDS2010

  • 蒸着室有効内容積:215mm(径)×270mm(高さ)
  • 最大ダイマー  150g 
  • 原料ダイマー  DPXC,DPXN 
  • 対象ウエハ  4インチ以内
F-KT-298

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