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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-289
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
バルク分析装置 > 電気・磁気特性測定
設備名 高周波伝送特性測定装置
(RF Transmission measuring)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

(株)アポロウエーブ社製 α150
チャックサイズ6インチ(室温~300℃可変)
プローブ位置合わせのストローク量: X,Y,Z各±5 mm
シールドボックスに格納し、遮光した状態での評価が可能

RFプローブキット(株)アポロウエーブ社製  ZPROBE

ネットワークアナライザ (株)アポロウエーブ社製
周波数範囲  10MHz to 14GHz

半導体パラメータアナライザ (株)アポロウェーブ社製 4200-SCS
SMU+プリアンプ  4台
最大200 V印加;  電流値の上限は2W/印加電圧  
100 fAの微小電流発生
電流値最小分解能  0.1 fA, 確度 10 fA

F-KT-289

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