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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-287
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 インピーダンスアナライザ
(Precision Impedance Analyzer)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

アジレント・テクノロジー(株)社製 4294A
基本インピーダンス確度 ±0.08% 
周波数 40Hz~110MHz

真空プローバ カスケード・マイクロテック社製 PLV50
チャックサイズ:Φ150mm,Φ100mm,小片基板  ほか
チャック温度:-40~+200℃ 
真空チャンバー 制御圧力:10~10-2Pa
マイクロシステムアナライザとの併用可

 

F-KT-287

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