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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-286
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 パワーデバイスアナライザ
(Power Device Analyzer & Curve Tracer)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

アジレント・テクノロジー(株)社製 B1505A
IV測定  電流: 10 fA~1 A  電圧: 2μV~200 V
プローバーと組み合わせて測定

(株)日本マイクロニクス社製 Model 708fT
微小電流(fAレベル)領域の解析・評価を行うためのマニュアルプローバ
ウエハサイズ ~Φ200mm

F-KT-286

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