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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-283
分類 機械計測 > 振動・変形測定
設備名 超微小材料機械変形評価装置
(Nano-Indenter)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

(株)エリオニクス社製  ENT-2100
圧子を微小荷重で試料に押込み、押込み深さを連続的に測定
最大試料サイズ Φ50x t3.5mm 
荷重範囲 1μN~100mN 
圧子変位測定系  計測範囲 = 0~50μm

F-KT-283

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