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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-282
分類 機械計測 > 振動・変形測定
設備名 光ヘテロダイン微小振動測定装置
(Optical Heterodyne Laser Doppler Vibrometer)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

ネオアーク(株)社製 MLD-230D-200K

  • 測定方向 縦振動、横振動の方向を切り替えて測定 
  • 測定周波数 1kHz~200MHz 
  • ビーム径(20倍対物)
        縦振動時:約Φ10μm
        横振動時:約Φ15μm
F-KT-282

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