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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-281
分類 機械計測 > 振動・変形測定
形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 マイクロシステムアナライザ
(Micro System Analyzer)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

ポリテック社製 MSA-500-TPM2-20-D-KU

  • MEMSデバイスの動的特性(面外,面内)および表面形状を3次元で測定
  • 面外振動測定  振動周波数
      HF速度:~2.5MHz(VD-07,VD-09)
      HF変位:~20MHz(DD-300)  
  • 面内振動測定  振動周波数  1Hz~1MHz
F-KT-281

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