文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-271
分類 形状・形態観察、分析 > 光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)
光学顕微鏡 > その他顕微鏡システム
設備名 3D測定レーザー顕微鏡
(3D Measuring Laser Microscope)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

オリンパス(株)社製 OLS4000-SAT
落射白色LED照明(明視野、微分干渉)やレーザー集光(反射)による表面形状の計測
急峻な表面であっても測定可能
平面測定精度
  繰り返し性:3σn-1=0.02μm(100X)
  正確さ:測定値の±2% 
高さ測定精度
  繰り返し性:σn-1=0.012μm(50X)
  正確さ:0.2+L/100μm以下(L=測定長μm)

F-KT-271

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