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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-266
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
走査電子顕微鏡 > 電子線マイクロアナライザ
設備名 分析走査電子顕微鏡
(Analytical Variable-Pressure Field Emission SEM)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

(株)日立ハイテクノロジーズ社製 SU6600
分解能 二次電子分解能:1.2nm
反射電子分解能:3.0nm
試料サイズ MAX Φ150mm x t40mm 
EDX、EBSD、IRカメラ搭載
真空度
    高真空: 

F-KT-266

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