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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-265
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
設備名 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
(Ultra-High Resolution Filed Emission SEM)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

(株)日立ハイテクノロジーズ社製 SU8000

  • 像分解能 1.0nm@15kV  1.4nm@1kV 
  • 取得可能像 二次電子像,組成像,透過像,透過暗視野像 
  • 試料サイズ Max100mmΦ,高さ30mm以下
F-KT-265

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