文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-264
分類 膜加工・エッチング > 集束イオンビーム加工
形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
設備名 集束イオンビーム/走査電子顕微鏡
(Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

エスアイアイ・ナノテクノロジー(株)社製  NVision40PI
高性能FIBとFE-SEMの複合装置
SEM分解能  1nm@20kV、2.5nm @1kV
FIB分解能  4nm@30kV  電流  0.1pA~45nA
EDS/EBSD搭載
真空用ナノインデンタ-システム搭載

F-KT-264

この設備に関するお問い合わせ先

本研究設備の詳細や利用方法等は、問い合わせフォームよりお問い合わせください。

設置機関Webサイト 設置機関Webサイト   この設備について問い合わせる この設備について問い合わせる(設置機関への問い合わせフォーム)