文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-259
分類 電気計測 > ワイアボンダ
切削、研磨、接合 > 接合・貼り付け・ダイボンダ
設備名 紫外線照射装置
(UV Curing System)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

(株)テクノビジョン社製  LED-4082
UV硬化フィルムなどの粘着力を低下させ、 ダイボンディング時のピックアップ性を高める装置
基板サイズ Wafer Φ6"以下

F-KT-259

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