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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-258
分類 切削、研磨、接合 > 接合・貼り付け・ダイボンダ
設備名 真空マウンター
(Wafer Vacuum Mounter)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

日本電気(株)社製 VTL-201
ウエハーに粘着テープを貼り付ける装置
基板サイズ Wafer Φ6"以下 
制御方式 シーケンサコントロール 
機能 真空引き、N2パージ仕様

F-KT-258

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