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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-255
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
分光 > 薄膜用紫外〜赤外反射
設備名 赤外透過評価検査/非接触厚み測定機
(Infrared MEMS Analyzer)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

(株)モリテックス社製  IRise-T

  • 基板 最大Φ8インチウェハ
  • 画像分解能 0.26μm/画素 
  • 厚み測定 
       測定分解能  0.01μm以下
       測定範囲  5~150μm
F-KT-255

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