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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-251
分類 合成、熱処理、ドーピング > 熱処理、レーザーアニール
設備名 レーザアニール装置
(KrF Laser Annealing System)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

AOV(株)社製   LAEX-1000
KrFエキシマレーザーのマスクのパターン縮小投影による表面のアニーリング
マスク上での均一強度分布のビームサイズ  20x20mm  
分解能 5.3 μm Lines&spaces

F-KT-251

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