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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-247
分類 膜加工・エッチング > ドライエッチング(ECR)
設備名 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置
(Electron Cyclotron Resonance Ion Shower)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

(株)エリオニクス社製  EIS-1200

  • 試料サイズ Φ6インチ,Φ2.5インチ,□75mm×7mm
  • イオン銃  ECR型イオン銃 
  • イオン種  Ar  N2  O2  CHF3  CF4他 
  • イオンビーム有効径 Φ108mm
  • ビーム均一度±5%(Φ100mm以内) 
  • 用途:Si、磁性体など
F-KT-247

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