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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-242
分類 合成、熱処理、ドーピング > 酸化、拡散、イオン注入
設備名 熱酸化炉
(Thermal Oxidation Furnace)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

光洋サーモシステム(株)社製 MT-8X28-A

  • 基板 最大Φ8インチウェハ  25枚 max
  • 常用最高温度 1050℃ 
  • 乾燥あるいは湿潤状態のN2  O2雰囲気
F-KT-242

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