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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-228
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > 液滴吐出型描画装置
設備名 超微細インクジェット描画装置
(Super-Fine Inkjet Printer)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

(株)SIJテクノロジ社製  ST050

  • 最小ライン幅 0.6マイクロメートル
  • 対応粘度範囲 0.5~10,000cps(非加熱)
  • 吐出液滴
        導電性ペースト、絶縁性インク、レジスト、接着剤、タンパク質、溶剤系、UV系など  
  • 付属ソフトウェアにより複雑なパターンを製作可能
F-KT-228

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