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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-KT-223
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > 光露光(ステッパ)
設備名 露光装置(ステッパー)
(i-line Stepper)
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 京大ナノハブ
仕様

(株)ニコン社製  NSR-2205i11D

  • 露光光源 i線(365nm) 
  • 露光パワー/照明均一性  700mW以上/±1%以内
  • 解像度 0.35μm以下
  • 露光範囲  Φ31mm以内 
  • 縮小倍率  1/5倍 
  • 試料サイズ  Φ4”、6”、8”、Φ10mm、Φ15mm、Φ20mm
F-KT-223

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