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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-IT-155
分類 切削、研磨、接合 > ダイシング、スクライバ
設備名 ダイシングソー
(Dicing Saw)
地域 関東
設置機関 東京工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 miya(at)ee.e.titech.ac.jp
仕様

ディスコ DAD322 φ6インチ 切削可能範囲 x軸160mm y軸162m z軸32.2mm(φ2"ブレード時) 
 Si用ブレード(NBC-Z1060)以外のブレードは基本自己負担

F-IT-155

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