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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-IT-147
分類 試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
設備名 FIB-SEMデュアルビーム加工観察装置
(MultiBeam SEM-FIB System)
地域 関東
設置機関 東京工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

JEOL製 JIB-4501  
FIB部分  Ga 液体金属イオン源、加速電圧  1-30kV,ビーム電流最大
60nA以上  SEM部分  加速電圧0.3-30kV    分解能  3nm以下  TEM用
試料の自動加工およびメッシュへの移動が可能であること

F-IT-147

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