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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-IT-146
分類 シミュレーション CAD > プロセスシミュレータ
設備名 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
(Electron-Beam Lithography Software)
地域 関東
設置機関 東京工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

GenISys BEAMER/  JEOL01,51,52などの日本電子製電子ビーム露光用
パターンデータファイルが入出力可能。
各露光基板形状に基づいたモンテカルロシミュレーションによって点拡がり関数(PSF)を導出でき、得られたPSFに基づく近接効果補正が可能であること。 

F-IT-146

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