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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-IT-139
分類 形状・形態観察、分析 > 光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)
光学顕微鏡 > 超高解像顕微鏡
設備名 デジタル顕微鏡
(Digital Microscope)
地域 関東
設置機関 東京工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

キーエンスVHX- 1000

  • レンズ:VH-Z500R/VH-Z500W
  • 倍率:500~5000倍
  • 観察距離:4.4mm
  • 撮影サイズ-解像度-画素数:
  • 標準-1600x1200-200万
  • 3CCD-1600x1200-200万x3CCD
  • 高精細-3200x2400-800万
  • 超高精細-4800x3600-1800万
  • 5400万画素-4800x3600-1800万x3CCD
F-IT-139

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