文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-IT-138
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
走査電子顕微鏡 > 低真空走査電子顕微鏡
分光 > 紫外可視近赤外分光
設備名 低真空 SEM
(Low Vacuum Scanning Electron Microscope)
地域 関東
設置機関 東京工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

キーエンス VHX-D510
レンズ:  電子式超深度レンズ+光学
倍率:  30~5000倍(垂直)、30~2000倍(傾斜)、
          50~500倍(光学)
観察像:  2次電子
試料サイズ:  Φ100 mm  5軸(XYZ+傾斜+回転)
試料室200 mm ×200 mm 試料高さ  30  mm

F-IT-138

この設備に関するお問い合わせ先

本研究設備の詳細や利用方法等は、問い合わせフォームよりお問い合わせください。

設置機関Webサイト 設置機関Webサイト   この設備について問い合わせる この設備について問い合わせる(設置機関への問い合わせフォーム)