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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-IT-135
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 走査型電子顕微鏡
(Scanning Electron Microscope)
地域 関東
設置機関 東京工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

日立S-4500 電界放出型

  • 冷陰極電界放出型電子銃
  • 分解能:
     1.5 nm (加速電圧 15 kV WD=4mm)
     4.0 nm (加速電圧 1 kV WD=3mm)
  • 試料サイズ:最大50 mm (直径)
  • EDX検出器装備 (HORIBA EMAX-7300)
F-IT-135

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