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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-IT-134
分類 成膜・膜堆積 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
設備名 高真空蒸着装置
(High Vacuum Evaporator)
地域 関東
設置機関 東京工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

エイコーエンジニアリング製  ロードロックチャンバ付  6連E-gun

  • 6kW 3連EBガン×2
  • 到達真空度: 5e-8Torr以下
  • 基板サイズ: 最大20mm×40mm角
  • 蒸着原材料: Ti,Pd,Ni,Cr,Au
F-IT-134

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