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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-IT-125
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 走査型電子顕微鏡
(Scanning Electron Microscope)
地域 関東
設置機関 東京工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

日立S5200 
  高解像度用インレンズ式
  加速電圧1kV~30kV
  分解能0.5nm(30kV)~1.7nm(1kV)
  倍率X100~X2000K
  STEMモード可

F-IT-125

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