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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-HK-039
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
設備名 電子線三次元粗さ解析装置
(Surface Roughness Analysis SEM )
地域 北海道
設置機関 北海道大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 ナノテク連携研究推進室
仕様

エリオニクス社製:ERA-800FE
加速電圧:30kV,倍率:20-600,000
三次元表面解析(測長)機能:3D断面形状測定、3D表面粗さ解析
最大試料寸法:Φ152mm(三次元測定時はΦ125mm)

F-HK-039

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