文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-HK-033
分類 合成、熱処理、ドーピング > CNT・グラフェン成長
ものづくり・合成支援 > ナノ材料・カーボン材料作製支援
設備名 ナノカーボン成長炉
(Nanocarbon growth system, easy tube system (Nano Device))
地域 北海道
設置機関 北海道大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 ナノテク連携研究推進室
仕様

Nano Device社製  Easy tube sysytem  
(基板サイズ:最大2cmx2cm, 成長温度:最大1000℃, 成長ガス:メタン・エチレン・アルゴン・水素, 大気圧)
試料ステージ:20mmx60mm (試料20x20mmの場合は3枚まで可能)

F-HK-033

この設備に関するお問い合わせ先

本研究設備の詳細や利用方法等は、問い合わせフォームよりお問い合わせください。

設置機関Webサイト 設置機関Webサイト   この設備について問い合わせる この設備について問い合わせる(設置機関への問い合わせフォーム)