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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-HK-029
分類 形状・形態観察、分析 > 環境試験機・高真空評価
設備名 環境試験器
(Environmental test device)
地域 北海道
設置機関 北海道大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 ナノテク連携研究推進室
仕様

エスペック社製:SH-221
温度範囲-20℃~+150℃・湿度範囲30 ~ 95%

F-HK-029

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