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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-HK-028
分類 膜加工・エッチング > 集束イオンビーム加工
試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
設備名 FIB加工装置
(FIB fabrication system)
地域 北海道
設置機関 北海道大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 ナノテク連携研究推進室
仕様

エリオニクス社製:EIP-3300
    加速電圧:30kV  Ga
    試料サイズ:100φ、回転機構により10mmφx10mm(H)(0~90°)の試料も加工可
    ベクタスキャン可、WCOデポ可

F-HK-028

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